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漢鍾螺杆国产专区在线特色
日期：2026-07-07 22:05
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摘要：
国产专区在线浦 (Vacuum Pump)也可寫為真空幫浦或是国产专区在线浦。漢鐘精機PS係列乾式螺旋国产专区在线浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉子 (圖一)，在轉子間維持微小的間隙，使得国产专区在线浦運轉時腔體內無需潤滑，因而無油氣回漏汙染的問題。透過專利轉子線形良好的密封效果，終極壓力可達7.5 × 10-3 Torr。螺旋式国产专区在线浦由於排氣路徑短，粉塵移除能力較其他型式的国产专区在线浦強，加上轉子表麵披覆材質的鍍膜，因此可適用於PECVD、Etching等嚴苛製程。
乾式国产专区在线浦 (Dry Vacuum Pump) 產品特色
1. 泵浦 (Pump) 溫度控製精準
乾式螺旋国产专区在线浦，承襲上一代国产专区在线浦優良的轉子設計，同時改善殼體的冷卻方式，採用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度，能夠更精準地控製泵浦內部溫度，減少沉積物的產生，增加国产专区在线浦 (Vacuum Pump)的壽命。
2. 密封馬達性高
国产专区在线浦亦採用專利設計的水冷罐裝密封馬達，除了能維持更低的馬達運轉溫度增加馬達的壽命外，也可避免製程氣體外漏的風險。
3. 微電腦控製保護周全
国产专区在线浦亦可配備微電腦控製器，可同時監控馬達電流、馬達溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量以及齒輪箱油位高低，提供国产专区在线浦完整的性保護，十分適用於光電、半導體、太陽能與TFT-LCD等產品穩定性要求極高之產業。
乾式国产专区在线浦 (Dry Vacuum Pump) 產品特色
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乾式螺旋国产专区在线浦，承襲上一代国产专区在线浦優良的轉子設計，同時改善殼體的冷卻方式，採用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度，能夠更精準地控製泵浦內部溫度，減少沉積物的產生，增加国产专区在线浦 (Vacuum Pump)的壽命。
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